Volfram sputtering mål
Produktnamn: Volfram sputtering target
Densitet: 99. 9% av teoretisk densitet
Renhet: ≥ 99. 95%
Specifikation: enkelvikt ≤ 200 kg / st
| Densitet | 19. 3 g / cm3 |
| Löslighet i H 2 O | N/A |
| Elektrisk resistans | 5. 6 5 microhm-cm @ 27 ° C |
| Elektronnegativitet | 1. 7 Paulings |
| Förångningsvärme | 185 K-Cal / g-atom vid 5660 ° C |
| Poisson 0010010 # 39; s förhållande | 0.28 |
| Specifik värme | 0. 0317 Cal / g / K @ 25 ° C |
| Brottgräns | 750 MPa |
| Värmeledningsförmåga | 1. 73 B / cm / K @ 298. 2 K |
| Termisk expansion | (25 °C) 4.5 µm·m-1·K-1 |
| Vickers hårdhet | 3430 MPa |
| Young 0010010 # 39; s Modulus | 411 GPa |
Vid framställningen av volframförstöringsmål har komponentens renhet, densitet, mikrostruktur, inre kvalitet, svetskvalitet, utseendeskvalitet och geometriska dimensioner en betydande inverkan på målfilmens kvalitet. Därför behövs viss produktionserfaring och teknisk support. Vårt företag är specialiserat på produktion av volframmål och har många års erfarenhet och kundigenkänning.
Sputteringsmålet används som en magnetron-förstoftningsbeläggning. Sputteringbeläggningen är en ny typ av PVD-metod.
Lägg till ett ortogonalt magnetfält och ett elektriskt fält mellan sputtermålet (katoden) och anoden och fyll den erforderliga inerta gasen (vanligtvis Ar-gas) i högvakuumkammaren. Under effekten av det elektriska fältet joneras Ar-gasen till positiva positiva joner och elektroner, en viss negativ högspänning appliceras på målet, elektronerna som avges från målet påverkas av magnetfältet och joniserings sannolikheten för att arbeta gas ökas och en högdensitetsplasma bildas i närheten. Ar-joner i Lorentz-kraften Det accelererar till målytan under handlingen och bombarderar målytan med hög hastighet, så att atomerna som sputteras på målet följer momentumomvandlingsprincipen och flyger bort från målytan till underlaget till bilda en film.
| Linjär formel | W |
| MDL-nummer | MFCD 00011461 |
| EG-nr | 231-143-9 |
| Beilstein registernummer | N/A |
| Pubchem CID | 23964 |
| SMILES | [W] |
| InchI-identifierare | InChI=1 S / W |
| InchI-nyckel | WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N |
Huvudkomponenterna i sputterbeläggningen: platt skärm, belagd glasindustri (främst inklusive arkitektoniskt glas, fordonsglas, optiskt tunt filmglas, etc.), tunnfilmsol, ytanläggning (dekoration och verktyg), (magnetisk, optisk) inspelning media, mikroelektronik, fordonsstrålkastare, dekorativa beläggningar, etc.
